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SK하이닉스는 네온 국산화 취지에 공감한 TEMC, 포스코와 함께 기존 설비를 활용, 적은 비용으로 네온을 생산하는 기술을 개발했다. 공기 중에 희박하게 있는 네온을 채취하기 위해선 대규모 ASU플랜트(Air Separate Unit·공기 분리 장치)가 필요해 초기 투자 비용이 많이 발생하는 점을 개선할 수 있었다.
SK하이닉스가 국산 네온을 평가·검증하는 방식으로 올해 초 국산화에 성공했고, 국산 네온은 포스코에서 생산된 후 TEMC의 가공을 거쳐 최우선으로 SK하이닉스에 공급되고 있다.
네온은 반도체 노광공정에 사용되는 엑시머 레이저 가스(Excimer Laser Gas)의 주재료다. 엑시머 레이저 가스는 매우 짧은 파장의 자외선인 엑시머 레이저를 발생시키며, 엑시머 레이저는 웨이퍼 위에 미세한 회로를 새길 때 쓰인다. 엑시머 레이저 가스 성분의 95%가 네온이지만, 네온은 공기 중에 0.00182% 밖에 존재하지 않는 희귀자원이다.
이 밖에도 SK하이닉스는 오는 2023년 6월까지 식각공정에 쓰이는 크립톤(Kr)·제논(Xe) 가스를 국산화해 원자재 수급 리스크를 최소화하고, 첨단 반도체 기술 개발에 필요한 자원을 지속 확보해 나간다는 계획이다.
윤홍성 SK하이닉스 FAB원자재구매담당 부사장은 “불안정한 국제정세로 불안한 공급상황에서도 국내 협력사와의 협업으로 수급 안정화에 크게 기여한 사례”라며 “지속적인 협력을 통해 반도체 원재료 공급망을 강화할 계획”이라고 밝혔다.